Ehrensperger, W. (1989). Mikrolithographie auf rotierendem Substrat im tiefen Ultra-Violett.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Ehrensperger, Wilfried. Mikrolithographie Auf Rotierendem Substrat Im Tiefen Ultra-Violett. 1989.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Ehrensperger, Wilfried. Mikrolithographie Auf Rotierendem Substrat Im Tiefen Ultra-Violett. 1989.
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