Barth, M. (1996). Ellipsometrische Untersuchung der ArF-Laser gestützten Abscheidung von amorphen, wasserstoffhaltigen Germaniumfilmen.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Barth, Michael. Ellipsometrische Untersuchung Der ArF-Laser Gestützten Abscheidung Von Amorphen, Wasserstoffhaltigen Germaniumfilmen. 1996.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Barth, Michael. Ellipsometrische Untersuchung Der ArF-Laser Gestützten Abscheidung Von Amorphen, Wasserstoffhaltigen Germaniumfilmen. 1996.
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