Müller, H. U. (1996). Lithographie mit Hexadecanthiol als hochauflösendem Resist für niederenergetische Elektronen.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Müller, Harald U. Lithographie Mit Hexadecanthiol Als Hochauflösendem Resist Für Niederenergetische Elektronen. 1996.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Müller, Harald U. Lithographie Mit Hexadecanthiol Als Hochauflösendem Resist Für Niederenergetische Elektronen. 1996.
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