Lithographie mit Hexadecanthiol als hochauflösendem Resist für niederenergetische Elektronen

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Müller, Harald U. (VerfasserIn)
Dokumenttyp: Buch/Monographie Hochschulschrift
Sprache:Deutsch
Veröffentlicht: 1996
Schlagworte:
Online-Zugang: Volltext
Verfasserangaben:vorgelegt von Harald Ulrich Müller

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