Synthese und Charakterisierung ionenstrahlunterstützt abgeschiedener Chrom / Chromnitridschichten

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Engel, Peter (VerfasserIn)
Dokumenttyp: Book/Monograph Hochschulschrift
Sprache:Deutsch
Veröffentlicht: 1998
Schlagworte:
Online-Zugang: Volltext
Verfasserangaben:vorgelegt von Peter Engel
Beschreibung
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