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Ortsaufgelöste Funktionalisierung von Siliciumhydrid-Oberflächen mit photolithographischen Methoden
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:
Pipper, Jürgen
(VerfasserIn)
Dokumenttyp:
Book/Monograph
Hochschulschrift
Sprache:
Deutsch
Veröffentlicht:
2000
Schlagworte:
Hochschulschrift
Maskentechnik
Biopolymere
Funktionalisierung
Hydrosilylierung
Siliciumsensor
Online-Zugang:
Verfasserangaben:
[vorgelegt von Jürgen Pipper]
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