Ortsaufgelöste Funktionalisierung von Siliciumhydrid-Oberflächen mit photolithographischen Methoden

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Pipper, Jürgen (VerfasserIn)
Dokumenttyp: Book/Monograph Hochschulschrift
Sprache:Deutsch
Veröffentlicht: 2000
Schlagworte:
Online-Zugang: Volltext
Verfasserangaben:[vorgelegt von Jürgen Pipper]
Beschreibung
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