Ionenstrahlgestützte Abscheidung dünner Funktionsschichtsysteme im System Ti-B-C-N und deren Charakterisierung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Haag, Steffen (VerfasserIn)
Dokumenttyp: Buch/Monographie Hochschulschrift
Sprache:Deutsch
Veröffentlicht: 2003
Schlagworte:
Online-Zugang: Volltext
Verfasserangaben:vorgelegt von Steffen Haag
Beschreibung
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