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Ionenstrahlgestützte Abscheidung dünner Funktionsschichtsysteme im System Ti-B-C-N und deren Charakterisierung

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Bibliographic Details
Main Author: Haag, Steffen (Author)
Format: Book/Monograph Thesis
Language:German
Published: 2003
Subjects:
Hochschulschrift
Online Access: Get full text
Author Notes:vorgelegt von Steffen Haag
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Ionenstrahlgestützte Abscheidung dünner Funktionsschichtsysteme im System Ti-B-C-N und deren Charakterisierung by Haag, Steffen (Author)

2003

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