Echtzeitanalyse des photoinduzierten Wachstums von Siliziumoxid mittels spektroskopischer Ellipsometrie und FTIR-Spektroskopie

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Patzner, Patrik (VerfasserIn)
Dokumenttyp:	Buch/Monographie Hochschulschrift
Sprache:	Deutsch
Veröffentlicht:	2004
Schlagworte:	Hochschulschrift
Online-Zugang:
Verfasserangaben:	vorgelegt von Patrik Patzner

Echtzeitanalyse des photoinduzierten Wachstums von Siliziumoxid mittels spektroskopischer Ellipsometrie und FTIR-Spektroskopie von Patzner, Patrik (VerfasserIn)

2005

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