Microparticle transfer onto pixel electrodes of 45µm pitch on HV-CMOS chips
Gespeichert in:
| Weitere Verfasser: | , |
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| Dokumenttyp: | Article (Journal) |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
2011
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| In: |
Sensors and actuators. A, Physical
Year: 2011, Jahrgang: 172, Heft: 2, Pages: 533-545 |
| ISSN: | 1873-3069 |
| DOI: | 10.1016/j.sna.2011.06.017 |
| Online-Zugang: | Resolving-System, Volltext: http://dx.doi.org/10.1016/j.sna.2011.06.017
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| Verfasserangaben: | simulation and experiment |
| Beschreibung: | Online Resource |
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| ISSN: | 1873-3069 |
| DOI: | 10.1016/j.sna.2011.06.017 |