Buchumschlag

Alumina films as gas barrier layers grown by spatial atomic layer deposition with trimethylaluminum and different oxygen sources

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Franke, Sebastian (VerfasserIn) , Beck, Sebastian (VerfasserIn) , Pucci, Annemarie (VerfasserIn)
Dokumenttyp: Article (Journal)
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: 2017
In: Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films
Year: 2016, Jahrgang: 35
ISSN:1520-8559
DOI:10.1116/1.4971173
Online-Zugang:Verlag, Volltext: http://dx.doi.org/10.1116/1.4971173
Verlag, Volltext: https://avs.scitation.org/doi/10.1116/1.4971173
Volltext
Verfasserangaben:Sebastian Franke, Matthias Baumkötter, Carsten Monka, Sebastian Raabe, Reinhard Caspary, Hans-Hermann Johannes, Wolfgang Kowalsky, Sebastian Beck, Annemarie Pucci, Hassan Gargouri
Beschreibung
Beschreibung:Published onine December 2016
Gesehen am 24.04.2018
Beschreibung:Online Resource
ISSN:1520-8559
DOI:10.1116/1.4971173

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