Numerical simulation of chemical downstream etching

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Riedel, Uwe (VerfasserIn)
Dokumenttyp: Buch/Monographie Arbeitspapier
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: Heidelberg IWR 1997
Schriftenreihe:Preprint / Interdisziplinäres Zentrum für Wissenschaftliches Rechnen der Universität Heidelberg 97,19
In: Preprint / Interdisziplinäres Zentrum für Wissenschaftliches Rechnen, IWR (97,19)

Schlagworte:
Online-Zugang: Volltext
Verfasserangaben:Uwe Riedel. IWR, Interdisziplinäres Zentrum für Wissenschaftliches Rechnen der Universität Heidelberg

MARC

LEADER 00000cam a2200000 c 4500
001 1601210191
003 DE-627
005 20250331185730.0
007 tu
008 990210s1997 gw ||||| t 00| ||eng c
015 |a 98,B18,0468  |2 dnb 
016 7 |a 952883597  |2 DE-101 
035 |a (DE-627)1601210191 
035 |a (DE-576)073524719 
035 |a (DE-599)DNB952883597 
035 |a (OCoLC)75873461 
035 |a (OCoLC)75873461 
040 |a DE-627  |b ger  |c DE-627  |e rakwb 
041 |a eng 
044 |c XA-DE 
084 |a 27  |2 sdnb 
100 1 |a Riedel, Uwe  |0 (DE-588)1015280277  |0 (DE-627)705359980  |0 (DE-576)350402906  |4 aut 
245 1 0 |a Numerical simulation of chemical downstream etching  |c Uwe Riedel. IWR, Interdisziplinäres Zentrum für Wissenschaftliches Rechnen der Universität Heidelberg 
263 |a kart. 
264 1 |a Heidelberg  |b IWR  |c 1997 
300 |a 7 S.  |b graph. Darst. 
336 |a Text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a ohne Hilfsmittel zu benutzen  |b n  |2 rdamedia 
338 |a Band  |b nc  |2 rdacarrier 
490 1 |a Preprint / Interdisziplinäres Zentrum für Wissenschaftliches Rechnen der Universität Heidelberg  |v 97,19 
583 1 |a Archivierung prüfen  |c 20200919  |f DE-640  |z 1  |2 pdager 
583 1 |a Archivierung/Langzeitarchivierung gewährleistet  |f PEBW  |x XA-DE-BW  |2 pdager  |5 DE-31 
583 1 |a Archivierung prüfen  |c 20240324  |f DE-4165  |z 1  |2 pdager 
583 1 |a Archivierung/Langzeitarchivierung gewährleistet  |c 20240722  |f NI-LastCopies  |x XA-DE-NI  |z Potenzieller Alleinbesitz Niedersachsen  |2 pdager  |5 DE-89 
655 7 |a Forschungsbericht  |0 (DE-588)4155043-2  |0 (DE-627)10467444X  |0 (DE-576)209815833  |2 gnd-content 
810 2 |a Universität Heidelberg  |b Interdisziplinäres Zentrum für Wissenschaftliches Rechnen  |t Preprint / Interdisziplinäres Zentrum für Wissenschaftliches Rechnen, IWR  |v 97,19  |9 97,19  |w (DE-627)131114964  |w (DE-576)032054920  |w (DE-600)1121925-7  |7 am 
889 |w (DE-627)240499255 
935 |i mdedup 
951 |a BO 
992 |a 20260129 
993 |a WorkingPaper 
994 |a 1997 
998 |g 1015280277  |a Riedel, Uwe  |m 1015280277:Riedel, Uwe  |d 700000  |d 708000  |e 700000PR1015280277  |e 708000PR1015280277  |k 0/700000/  |k 1/700000/708000/  |p 1  |x j  |y j 
999 |a KXP-PPN1601210191  |e 4864569347 
BIB |a Y 
JSO |a {"person":[{"display":"Riedel, Uwe","family":"Riedel","given":"Uwe","role":"aut"}],"origin":[{"publisherPlace":"Heidelberg","dateIssuedKey":"1997","publisher":"IWR","dateIssuedDisp":"1997"}],"title":[{"title_sort":"Numerical simulation of chemical downstream etching","title":"Numerical simulation of chemical downstream etching"}],"type":{"bibl":"book"},"relMultPart":[{"corporate":[{"display":"Universität Heidelberg","role":"aut"}],"part":{"number":["97,19"],"number_sort":["97,19"]},"titleAlt":[{"title":"Preprintreihe IWR"}],"dispAlt":"Universität Heidelberg / Interdisziplinäres Zentrum für Wissenschaftliches Rechnen: Preprint / Interdisziplinäres Zentrum für Wissenschaftliches Rechnen, IWR","language":["ger"],"type":{"bibl":"serial"},"disp":"Preprint / Interdisziplinäres Zentrum für Wissenschaftliches Rechnen der Universität Heidelberg","pubHistory":["Nachgewiesen 1990 - 2004; damit Ersch. eingest."],"origin":[{"publisher":"IWR","dateIssuedKey":"1990","dateIssuedDisp":"1990-2004","publisherPlace":"Heidelberg"}],"title":[{"title":"Preprint / Interdisziplinäres Zentrum für Wissenschaftliches Rechnen, IWR","title_sort":"Preprint / Interdisziplinäres Zentrum für Wissenschaftliches Rechnen, IWR"}],"id":{"eki":["131114964"],"zdb":["1121925-7"]},"recId":"131114964","physDesc":[{"noteFormat":"30 cm"}]}],"recId":"1601210191","language":["eng"],"name":{"displayForm":["Uwe Riedel. IWR, Interdisziplinäres Zentrum für Wissenschaftliches Rechnen der Universität Heidelberg"]},"physDesc":[{"noteIll":"graph. Darst.","extent":"7 S."}],"id":{"eki":["1601210191"]}} 
SRT |a RIEDELUWENUMERICALS1997