Ionenstrahlgestützte Abscheidung dünner Funktionsschichtsysteme auf Titanbasis und deren Charakterisierung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Scheerer, Herbert (VerfasserIn)
Dokumenttyp: Buch/Monographie Hochschulschrift
Sprache:Deutsch
Veröffentlicht: 1998
Schlagworte:
Online-Zugang: Volltext
Verfasserangaben:vorgelegt von Herbert Scheerer

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