Ionenstrahlgestützte Abscheidung dünner Funktionsschichtsysteme auf Titanbasis und deren Charakterisierung - Scheerer, Herbert (1998)
Keywords: Hochschulschrift; Photothermische Methode; Eigenspannung; Ionenplattieren; Haftvermittler; Titan; Mehrschichtsystem; Einfallwinkel