High-precision combinatorial deposition of micro particle patterns on a microelectronic chip
Gespeichert in:
| Weitere Verfasser: | , , |
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| Dokumenttyp: | Article (Journal) |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
2011
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| In: |
Aerosol science and technology
Year: 2011, Jahrgang: 45, Pages: 65-74 |
| ISSN: | 0278-6826 |
| Online-Zugang: |
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| Verfasserangaben: | Löffler, F., Wagner, J. ... Hausmann, M. ... |
| ISSN: | 0278-6826 |
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