Ionenstrahlgestützte Abscheidung dünner Funktionsschichtsysteme im System Ti-B-C-N und deren Charakterisierung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Haag, Steffen (VerfasserIn)
Dokumenttyp: Buch/Monographie Hochschulschrift
Sprache:Deutsch
Veröffentlicht: 2003
Schlagworte:
Online-Zugang:Verlag, lizenzpflichtig, Volltext: http://archiv.ub.uni-heidelberg.de/volltextserver/3867/1/Diss_Kap1u2.PDF
Volltext
Verfasserangaben:Steffen Haag

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