Ionenstrahlgestützte Abscheidung dünner Funktionsschichtsysteme im System Ti-B-C-N und deren Charakterisierung
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Dokumenttyp: | Book/Monograph Hochschulschrift |
| Sprache: | Deutsch |
| Veröffentlicht: |
2003
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Verlag, lizenzpflichtig, Volltext: http://archiv.ub.uni-heidelberg.de/volltextserver/3867/1/Diss_Kap1u2.PDF
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| Verfasserangaben: | Steffen Haag |
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Ionenstrahlgestützte Abscheidung dünner Funktionsschichtsysteme im System Ti-B-C-N und deren Charakterisierung
2003
Book/Monograph
Hochschulschrift