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Echtzeitanalyse des photoinduzierten Wachstums von Siliziumoxid mittels spektroskopischer Ellipsometrie und FTIR-Spektroskopie

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Bibliographic Details
Main Author: Patzner, Patrik (Author)
Format: Book/Monograph Thesis
Language:German
Published: 2005
DOI:10.11588/heidok.00005265
Subjects:
Hochschulschrift
Online Access:Resolving-System, kostenfrei, Volltext: https://doi.org/10.11588/heidok.00005265
Verlag, kostenfrei, Volltext: https://archiv.ub.uni-heidelberg.de/volltextserver/5265/
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Author Notes:Patrik Patzner
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Physical Description:Online Resource
DOI:10.11588/heidok.00005265

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