Echtzeitanalyse des photoinduzierten Wachstums von Siliziumoxid mittels spektroskopischer Ellipsometrie und FTIR-Spektroskopie
Gespeichert in:
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| Sprache: | Deutsch |
| Veröffentlicht: |
2005
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| DOI: | 10.11588/heidok.00005265 |
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| Online-Zugang: | Resolving-System, kostenfrei, Volltext: https://doi.org/10.11588/heidok.00005265 Verlag, kostenfrei, Volltext: https://archiv.ub.uni-heidelberg.de/volltextserver/5265/ 
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| Verfasserangaben: | Patrik Patzner |
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