Journal of vacuum science & technology: JVST ; an AVS journal / B Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena
Gespeichert in:
| Vorheriger Titel: | Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures |
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| Dokumenttyp: | Edited Volume Zeitschrift |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
New York, NY
AIP Publishing
2010-
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| Volumes / Articles: | Show Volumes / Articles. |
| ISSN: | 2166-2754 2166-2746 1520-8567 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Frontdoor-Url: https://ezb.ur.de/?3117331-7 Verlag: https://pubs.aip.org/avs/jvb 
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| Verfasserangaben: | publ. by the Society through the American Institute of Physics |
| Veröffentlicht: | 2nd ser., Volume 28, Issue 1, (January 2010)- |
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| Beschreibung: | Online Resource |
| ISSN: | 2166-2754 2166-2746 1520-8567 |