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Herstellung von SET-Bauteilen durch Nanostrukturierung mit ultrascharfen Feldemittern: Abschlußbericht

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Die einzigartigen Eigenschaften ultrascharfer Feldemitterquellen als Quellen für Elektronen und Ionen sollten zur Strukturierung im Nanometerbereich angewandt werden. Neben der Entwicklung der lithographischen Methode sollten auch bei der Wahl der Resist/Substrat-Systeme neue Wege beschritten werde...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Gölzhäuser, Armin (BerichterstatterIn) , Müller, Harald U. (BerichterstatterIn) , David, Christian (BerichterstatterIn)
Dokumenttyp: Buch/Monographie
Sprache:Deutsch
Veröffentlicht: Heidelberg Univ., Lehrstuhl für Angewandte Physikal. Chemie 1997
Ausgabe:[Electronic ed.]
Schriftenreihe:Physikalische Technologien / Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie
Schlagworte:
Forschungsbericht
Online-Zugang:Verlag, kostenfrei, Volltext: https://edocs.tib.eu/files/e001/236598082.pdf
Verlag: https://edocs.tib.eu/files/e001/236598082l.pdf
Volltext
Verfasserangaben:von Armin Gölzhäuser; Harald U. Müller; Christian David

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520 |a Die einzigartigen Eigenschaften ultrascharfer Feldemitterquellen als Quellen für Elektronen und Ionen sollten zur Strukturierung im Nanometerbereich angewandt werden. Neben der Entwicklung der lithographischen Methode sollten auch bei der Wahl der Resist/Substrat-Systeme neue Wege beschritten werden. Im Verlauf des Projektes wurde die Untersuchung der Vorgänge bei der Elektronenbelichtung eine weitere Aufgabe, die notwendig war um die komplexen Prozesse bei der Nanostrukturierung mit Nahsondenmethoden zu verstehen und zu optimieren 
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