Herstellung von SET-Bauteilen durch Nanostrukturierung mit ultrascharfen Feldemittern: Abschlußbericht - Gölzhäuser, Armin; Müller, Harald U.; David, Christian (Univ., Lehrstuhl für Angewandte Physikal. Chemie, 1997)
Die einzigartigen Eigenschaften ultrascharfer Feldemitterquellen als Quellen für Elektronen und Ionen sollten zur Strukturierung im Nanometerbereich angewandt werden. Neben der Entwicklung der lithographischen Methode sollten auch bei der Wahl der Resist/Substrat-Systeme neue Wege beschritten werden. Im Verlauf des Projektes wurde die Untersuchung der Vorgänge bei der Elektronenbelichtung eine weitere Aufgabe, die notwendig war um die komplexen Prozesse bei der Nanostrukturierung mit Nahsondenmethoden zu verstehen und zu optimieren
Contract no.: BMBF 13N6186
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Keywords: Forschungsbericht