High-Precision combinatorial deposition of micro particle patterns on a microelectronic chip
von Löffler, Felix (VerfasserIn)
, Wagner, Jennifer (VerfasserIn)
, König, Kai (VerfasserIn)
, Märkle, Frieder (VerfasserIn)
, Fernández, Simón (VerfasserIn)
, Schirwitz, Christopher (VerfasserIn)
, Torralba, Gloria (VerfasserIn)
, Hausmann, Michael (VerfasserIn)
, Lindenstruth, V. (VerfasserIn)
, Bischoff, F. Ralf (VerfasserIn)
, Breitling, F. (VerfasserIn)
, Nesterov, A. (VerfasserIn)
,
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