Ionenstrahlgestützte Abscheidung dünner Funktionsschichtsysteme im System Ti-B-C-N und deren Charakterisierung
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| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book/Monograph Thesis |
| Language: | German |
| Published: |
2003
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| Subjects: | |
| Online Access: |
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| Author Notes: | vorgelegt von Steffen Haag |
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