Journal of vacuum science and technology: JVST ; an AVS journal / B Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena
Gespeichert in:
| Vorheriger Titel: | Journal of vacuum science & technology |
|---|---|
| Dokumenttyp: | Edited Volume Zeitschrift |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
New York, NY
Inst.
1983-
|
| Volumes / Articles: | Show Volumes / Articles. |
| ISSN: | 2166-2746 1071-1023 0734-211X 2327-9877 1520-8567 2166-2754 0022-5355 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: |
|
| Verfasserangaben: | publ. by the Society through the American Institute of Physics |
| Veröffentlicht: | 2.Ser. 1.1983 - |
|---|---|
| Beschreibung: | 1. Zusatz ab 2.Ser. 12.1994 |
| ISSN: | 2166-2746 1071-1023 0734-211X 2327-9877 1520-8567 2166-2754 0022-5355 |