Micellar nano- and elctron beam lithography: development and applications
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Dokumenttyp: | Book/Monograph Hochschulschrift |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
2005
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: |
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| Verfasserangaben: | vorgelegt von Roman Johann Peter Glass |
| Beschreibung: | Zsfassung in dt. Sprache |
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