Characterization of ultrathin films on silicon by scanning force microscopy, FTIR-spectroscopy and ellipsometry
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Dokumenttyp: | Book/Monograph Hochschulschrift |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
2007
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: |
|
| Verfasserangaben: | vorgelegt von Pavel Prunici |
| Beschreibung: | Zsfassung in dt. Sprache |
|---|