Characterization of ultrathin films on silicon by scanning force microscopy, FTIR-spectroscopy and ellipsometry

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Prunici, Pavel (VerfasserIn)
Dokumenttyp: Buch/Monographie Hochschulschrift
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: 2007
Schlagworte:
Online-Zugang: Volltext
Verfasserangaben:vorgelegt von Pavel Prunici

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