Numerical simulation of chemical downstream etching
Salvato in:
| Autore principale: | |
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| Natura: | Book/Monograph Working Paper |
| Lingua: | inglese |
| Pubblicazione: |
Heidelberg
IWR
1997
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| Serie: | Preprint / Interdisziplinäres Zentrum für Wissenschaftliches Rechnen der Universität Heidelberg
97,19 |
| In: |
Preprint / Interdisziplinäres Zentrum für Wissenschaftliches Rechnen, IWR (97,19)
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| Soggetti: | |
| Accesso online: |
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| Note sull'autore: | Uwe Riedel. IWR, Interdisziplinäres Zentrum für Wissenschaftliches Rechnen der Universität Heidelberg |
| Descrizione non disponibile. |