Numerical simulation of chemical downstream etching
Saved in:
| Main Author: | |
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| Format: | Book/Monograph Working Paper |
| Language: | English |
| Published: |
Heidelberg
IWR
1997
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| Series: | Preprint / Interdisziplinäres Zentrum für Wissenschaftliches Rechnen der Universität Heidelberg
97,19 |
| In: |
Preprint / Interdisziplinäres Zentrum für Wissenschaftliches Rechnen, IWR (97,19)
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| Subjects: | |
| Online Access: |
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| Author Notes: | Uwe Riedel. IWR, Interdisziplinäres Zentrum für Wissenschaftliches Rechnen der Universität Heidelberg |
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