Numerical simulation of chemical downstream etching
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Dokumenttyp: | Buch/Monographie Arbeitspapier |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Heidelberg
IWR
1997
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| Schriftenreihe: | Preprint / Interdisziplinäres Zentrum für Wissenschaftliches Rechnen der Universität Heidelberg
97,19 |
| In: |
Preprint / Interdisziplinäres Zentrum für Wissenschaftliches Rechnen, IWR (97,19)
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: |
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| Verfasserangaben: | Uwe Riedel. IWR, Interdisziplinäres Zentrum für Wissenschaftliches Rechnen der Universität Heidelberg |
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