Ionenstrahlgestützte Abscheidung dünner Funktionsschichtsysteme im System Ti-B-C-N und deren Charakterisierung
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| Main Author: | |
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| Format: | Book/Monograph Thesis |
| Language: | German |
| Published: |
2003
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| Subjects: | |
| Online Access: | Verlag, lizenzpflichtig, Volltext: http://archiv.ub.uni-heidelberg.de/volltextserver/3867/1/Diss_Kap1u2.PDF
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| Author Notes: | Steffen Haag |
| Physical Description: | Online Resource |
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