Ionenstrahlgestützte Abscheidung dünner Funktionsschichtsysteme im System Ti-B-C-N und deren Charakterisierung
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Dokumenttyp: | Buch/Monographie Hochschulschrift |
| Sprache: | Deutsch |
| Veröffentlicht: |
2003
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Verlag, lizenzpflichtig, Volltext: http://archiv.ub.uni-heidelberg.de/volltextserver/3867/1/Diss_Kap1u2.PDF
|
| Verfasserangaben: | Steffen Haag |
| Beschreibung: | Online Resource |
|---|