Herstellung von SET-Bauteilen durch Nanostrukturierung mit ultrascharfen Feldemittern: Abschlußbericht
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , , |
|---|---|
| Dokumenttyp: | Buch/Monographie |
| Sprache: | Deutsch |
| Veröffentlicht: |
Heidelberg
Univ., Lehrstuhl für Angewandte Physikal. Chemie
1997
|
| Schriftenreihe: | Physikalische Technologien / Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: |
|
| Verfasserangaben: | von Armin Gölzhäuser; Harald U. Müller; Christian David |
| Beschreibung: | Förderkennzeichen BMBF 13N6186 Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Dokumentversion können nicht ausgeschlossen werden Auch als elektronisches Dokument vorh |
|---|