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Herstellung von SET-Bauteilen durch Nanostrukturierung mit ultrascharfen Feldemittern: Abschlußbericht

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Main Authors: Gölzhäuser, Armin (Author) , Müller, Harald U. (Author) , David, Christian (Author)
Format: Book/Monograph
Language:German
Published: Heidelberg Univ., Lehrstuhl für Angewandte Physikal. Chemie 1997
Series:Physikalische Technologien / Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie
Subjects:
Forschungsbericht
Online Access: Get full text
Author Notes:von Armin Gölzhäuser; Harald U. Müller; Christian David
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Herstellung von SET-Bauteilen durch Nanostrukturierung mit ultrascharfen Feldemittern: Abschlußbericht

Univ., Lehrstuhl für Angewandte Physikal. Chemie 1997

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