Herstellung von SET-Bauteilen durch Nanostrukturierung mit ultrascharfen Feldemittern: Abschlußbericht
Die einzigartigen Eigenschaften ultrascharfer Feldemitterquellen als Quellen für Elektronen und Ionen sollten zur Strukturierung im Nanometerbereich angewandt werden. Neben der Entwicklung der lithographischen Methode sollten auch bei der Wahl der Resist/Substrat-Systeme neue Wege beschritten werde...
Gespeichert in:
| Weitere Verfasser: | , , |
|---|---|
| Dokumenttyp: | Book/Monograph |
| Sprache: | Deutsch |
| Veröffentlicht: |
Heidelberg
Univ., Lehrstuhl für Angewandte Physikal. Chemie
1997
|
| Ausgabe: | [Electronic ed.] |
| Schriftenreihe: | Physikalische Technologien / Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Verlag, kostenfrei, Volltext: https://edocs.tib.eu/files/e001/236598082.pdf Verlag: https://edocs.tib.eu/files/e001/236598082l.pdf 
|
| Verfasserangaben: | von Armin Gölzhäuser; Harald U. Müller; Christian David |
| Zusammenfassung: | Die einzigartigen Eigenschaften ultrascharfer Feldemitterquellen als Quellen für Elektronen und Ionen sollten zur Strukturierung im Nanometerbereich angewandt werden. Neben der Entwicklung der lithographischen Methode sollten auch bei der Wahl der Resist/Substrat-Systeme neue Wege beschritten werden. Im Verlauf des Projektes wurde die Untersuchung der Vorgänge bei der Elektronenbelichtung eine weitere Aufgabe, die notwendig war um die komplexen Prozesse bei der Nanostrukturierung mit Nahsondenmethoden zu verstehen und zu optimieren |
|---|---|
| Beschreibung: | Contract no.: BMBF 13N6186 nIndex Differences between the printed and electronic version of the document are possible |
| Beschreibung: | Online Resource |