Herstellung von SET-Bauteilen durch Nanostrukturierung mit ultrascharfen Feldemittern: Abschlußbericht
Die einzigartigen Eigenschaften ultrascharfer Feldemitterquellen als Quellen für Elektronen und Ionen sollten zur Strukturierung im Nanometerbereich angewandt werden. Neben der Entwicklung der lithographischen Methode sollten auch bei der Wahl der Resist/Substrat-Systeme neue Wege beschritten werde...
Gespeichert in:
| Weitere Verfasser: | , , |
|---|---|
| Dokumenttyp: | Buch/Monographie |
| Sprache: | Deutsch |
| Veröffentlicht: |
Heidelberg
Univ., Lehrstuhl für Angewandte Physikal. Chemie
1997
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| Ausgabe: | [Electronic ed.] |
| Schriftenreihe: | Physikalische Technologien / Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Verlag, kostenfrei, Volltext: https://edocs.tib.eu/files/e001/236598082.pdf Verlag: https://edocs.tib.eu/files/e001/236598082l.pdf |
| Verfasserangaben: | von Armin Gölzhäuser; Harald U. Müller; Christian David |
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Herstellung von SET-Bauteilen durch Nanostrukturierung mit ultrascharfen Feldemittern: Abschlußbericht
Univ., Lehrstuhl für Angewandte Physikal. Chemie 1997
Buch/Monographie