Herstellung von SET-Bauteilen durch Nanostrukturierung mit ultrascharfen Feldemittern: Abschlußbericht

Die einzigartigen Eigenschaften ultrascharfer Feldemitterquellen als Quellen für Elektronen und Ionen sollten zur Strukturierung im Nanometerbereich angewandt werden. Neben der Entwicklung der lithographischen Methode sollten auch bei der Wahl der Resist/Substrat-Systeme neue Wege beschritten werde...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Gölzhäuser, Armin (BerichterstatterIn) , Müller, Harald U. (BerichterstatterIn) , David, Christian (BerichterstatterIn)
Dokumenttyp:	Buch/Monographie
Sprache:	Deutsch
Veröffentlicht:	Heidelberg Univ., Lehrstuhl für Angewandte Physikal. Chemie 1997
Ausgabe:	[Electronic ed.]
Schriftenreihe:	Physikalische Technologien / Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie
Schlagworte:	Forschungsbericht
Online-Zugang:	Verlag, kostenfrei, Volltext: https://edocs.tib.eu/files/e001/236598082.pdf Verlag: https://edocs.tib.eu/files/e001/236598082l.pdf
Verfasserangaben:	von Armin Gölzhäuser; Harald U. Müller; Christian David

Herstellung von SET-Bauteilen durch Nanostrukturierung mit ultrascharfen Feldemittern: Abschlußbericht von Gölzhäuser, Armin (VerfasserIn) , Müller, Harald U. (VerfasserIn) , David, Christian (VerfasserIn) ,

Univ., Lehrstuhl für Angewandte Physikal. Chemie 1997

Buch/Monographie

Herstellung von SET-Bauteilen durch Nanostrukturierung mit ultrascharfen Feldemittern: Abschlußbericht

Herstellung von SET-Bauteilen durch Nanostrukturierung mit ultrascharfen Feldemittern: Abschlußbericht von Gölzhäuser, Armin (VerfasserIn) , Müller, Harald U. (VerfasserIn) , David, Christian (VerfasserIn) ,

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