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Herstellung von SET-Bauteilen durch Nanostrukturierung mit ultrascharfen Feldemittern: Abschlußbericht

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Die einzigartigen Eigenschaften ultrascharfer Feldemitterquellen als Quellen für Elektronen und Ionen sollten zur Strukturierung im Nanometerbereich angewandt werden. Neben der Entwicklung der lithographischen Methode sollten auch bei der Wahl der Resist/Substrat-Systeme neue Wege beschritten werde...

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Bibliographic Details
Other Authors: Gölzhäuser, Armin (Other) , Müller, Harald U. (Other) , David, Christian (Other)
Format: Book/Monograph
Language:German
Published: Heidelberg Univ., Lehrstuhl für Angewandte Physikal. Chemie 1997
Edition:[Electronic ed.]
Series:Physikalische Technologien / Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie
Subjects:
Forschungsbericht
Online Access:Verlag, kostenfrei, Volltext: https://edocs.tib.eu/files/e001/236598082.pdf
Verlag: https://edocs.tib.eu/files/e001/236598082l.pdf
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Author Notes:von Armin Gölzhäuser; Harald U. Müller; Christian David
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Herstellung von SET-Bauteilen durch Nanostrukturierung mit ultrascharfen Feldemittern: Abschlußbericht by Gölzhäuser, Armin (Author) , Müller, Harald U. (Author) , David, Christian (Author) ,

Univ., Lehrstuhl für Angewandte Physikal. Chemie 1997

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