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Microelectronic engineering

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Bibliographische Detailangaben
Dokumenttyp: Edited Volume Zeitschrift
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: [Erscheinungsort nicht ermittelbar] Elsevier 1983-
Volumes / Articles: Show Volumes / Articles.
ISSN:0167-9317
Schlagworte:
Zeitschrift
Halbleitertechnologie
Online-Zugang:Frontdoor-Url: https://ezb.ur.de/?1497065-X
Verlag: https://www.sciencedirect.com/journal/microelectronic-engineering
Verlag; 1.1983 - 2002, Deutschlandweit zugänglich: https://www.sciencedirect.com/journal/microelectronic-engineering
Volltext
Beschreibung
Veröffentlicht:1.1983 - 88.2011; Vol. 89.2012 -
Beschreibung:Online Resource
ISSN:0167-9317

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