Buchumschlag

Three dimensional nanolithography with light forces

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Müther, Tobias (BerichterstatterIn) , Oberthaler, Markus K. (BerichterstatterIn)
Dokumenttyp: Article (Journal)
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: 2001
In: Microelectronic engineering
Year: 2001, Jahrgang: 57-58, Pages: 857-863
DOI:/10.1016/S0167-9317(01)00442-7
Online-Zugang:Resolving-System, Volltext: http://dx.doi.org//10.1016/S0167-9317(01)00442-7
Volltext
Verfasserangaben:T. Müther, Th. Schulze, D. Jürgens, M. K. Oberthaler, and J. Mlynek
Beschreibung
Beschreibung:Online Resource
DOI:/10.1016/S0167-9317(01)00442-7

Ähnliche Einträge