High-precision combinatorial deposition of micro particle patterns on a microelectronic chip

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Löffler, Felix (BerichterstatterIn) , Wagner, Jennifer (BerichterstatterIn) , Hausmann, Michael (BerichterstatterIn)
Dokumenttyp:	Article (Journal)
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2011
In:	Aerosol science and technology Year: 2011, Jahrgang: 45, Pages: 65-74
ISSN:	0278-6826
Online-Zugang:
Verfasserangaben:	Löffler, F., Wagner, J. ... Hausmann, M. ...

High-Precision combinatorial deposition of micro particle patterns on a microelectronic chip von Löffler, Felix (VerfasserIn) , Wagner, Jennifer (VerfasserIn) , König, Kai (VerfasserIn) , Märkle, Frieder (VerfasserIn) , Fernández, Simón (VerfasserIn) , Schirwitz, Christopher (VerfasserIn) , Torralba, Gloria (VerfasserIn) , Hausmann, Michael (VerfasserIn) , Lindenstruth, V. (VerfasserIn) , Bischoff, F. Ralf (VerfasserIn) , Breitling, F. (VerfasserIn) , Nesterov, A. (VerfasserIn) ,

in: Aerosol science and technology, 45 (2011), 1, Seite 65-74

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