High-Precision combinatorial deposition of micro particle patterns on a microelectronic chip

The behavior of charged bio polymer micro particles when deposited onto a CMOS chip can be analytically modeled in form of the incompressible Navier-Stokes equation and the electrostatic Poisson equation, as we describe in this article. Based on these models, numerical simulations of depositions can...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Löffler, Felix (VerfasserIn) , Wagner, Jennifer (VerfasserIn) , König, Kai (VerfasserIn) , Märkle, Frieder (VerfasserIn) , Fernández, Simón (VerfasserIn) , Schirwitz, Christopher (VerfasserIn) , Torralba, Gloria (VerfasserIn) , Hausmann, Michael (VerfasserIn) , Lindenstruth, V. (VerfasserIn) , Bischoff, F. Ralf (VerfasserIn) , Breitling, F. (VerfasserIn) , Nesterov, A. (VerfasserIn)
Dokumenttyp:	Article (Journal)
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2011
In:	Aerosol science and technology Year: 2011, Jahrgang: 45, Heft: 1, Pages: 65-74
ISSN:	1521-7388
DOI:	10.1080/02786826.2010.517814
Online-Zugang:	Verlag, lizenzpflichtig, Volltext: https://doi.org/10.1080/02786826.2010.517814 Verlag, lizenzpflichtig, Volltext: https://www.tandfonline.com/doi/full/10.1080/02786826.2010.517814
Verfasserangaben:	F. Löffler, J. Wagner, K. König, F. Märkle, S. Fernandez, C. Schirwitz, G. Torralba, M. Hausmann, V. Lindenstruth, F.R. Bischoff, F. Breitling, and A. Nesterov